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Low-kV imaging 웨비나

저전압 이미징 솔루션 ZEISS GeminiSEM

2024년 2월 23일

첨단 두비즈와 함께 하는 온라인 웨비나

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저전압 이미징을 통해 진정한 샘플 표면을 관찰하세요!

High resolution imaging of Mesoporous silica nanomaterials at 500V without sample coating or stage biasing.

High resolution imaging of Mesoporous silica nanomaterials at 500V without sample coating or stage biasing.

표면의 미세한 나노 구조 이미징을 위한 초저전압 고분해능 조건 구현

Gemini 3 column의 Beambooster 기술과 Nano-twin lens가 어떤 시너지를 발휘하여 초저전압에서 고분해능 이미지를 지원하는지 알아보세요.

전도성 코팅이나 스테이지 바이어스 없이 500 eV 저전압 조건으로 확인한 Mesoporous silica nano material 이미지입니다.
Tungsten Nickel Iron Alloy: EsB detector for BSE image with compositional contrast.

저전압 조건으로 compositional contrast 극대화

Gemini 3 column의 Beambooster 기능과 Electrostatic lens 덕분에 컬럼 안으로 되돌아 오는 전자 신호의 궤적을 촉진해서 in-column 검출기의 수집 효율을 높입니다.

결합 에너지와 같은 미세한 신호의 차이를 energy grid filter로 분류하여 contrast로 구현할 수 있는 in-column 검출기인 EsB의 성능을 확인하세요.
Stainless steel surface after sand blaster (SiO2)

유연한 이미징 조건으로 "Sweet spot" 이미징 실현

스테이지 바이어스를 사용하지 않고 컬럼 안으로 되돌아 오는 전자 신호들의 고유 정보를 왜곡하지 않아 극표면의 미세한 차이를 검출할 수 있습니다.

단순히 작동거리를 줄이거나 늘리는 방식으로도 in-column 검출기에서 수집할 정보를 채택할 수 있습니다.

스테인리스 스틸 표면에 샌드 블라스팅 후 표면에 남은 SiO2는 비전도성 물질입니다. 작동거리를 5 mm로 늘렸을 때 약한 신호인 charging state가 contrast로 구현됩니다.
Magnetite nanomaterials imaged at 1kV and WD of 0.9mm.

Magnetite nanomaterials imaged at 1kV and WD of 0.9mm.

Field-free 컬럼의 진가, 자성 나노입자 이미징

저전압 조건을 구현하기 위해 스테이지 바이어스나 이멀전 렌즈를 사용하면 자성이 있는 샘플들을 관찰하기 어렵습니다.

Stray field를 현저히 감소시키도록 설계된 Gemini 3 column의 Nano-twin 렌즈를 통해 어떻게 자성 입자를 관찰할 수 있는지 알아보세요.