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저전압 및 초저전압 이미징을 통한 진정한 샘플 표면 관찰

ZEISS Gemini 3 column으로 구현하세요

표면 코팅이 없는 비전도성 및 자성 표면의 고해상도 SEM 이미징은 시료의 방해를 받지 않고 지형 정보를 조사할 수 있다는 장점을 가지고 있습니다.

실제 시료 표면 이미징을 고해상도로 달성하기 위해서는 낮은 가속 전압(low kV)을 사용하는 것이 바람직하지만, 저전압 또는 초저전압 SEM 이미징에는 다음과 같은 문제가 있습니다:
(i) 낮은 신호 대 잡음비(SNR)
(ii) 낮은 이미지 해상도
(iii) 낮은 에너지 빔의 정렬 불량으로 인한 이미지 왜곡

ZEISS Gemini 3 column의 새로운 Nano-twin 렌즈와 Smart Autopilot(새로운 전자 광학 엔진)의 조합이 어떻게 시너지를 발휘하여 비전도성 및 자성 표면에서 저전압 및 초저전압 이미징을 통해 나노미터 이하 해상도를 가능하게 했는지 알아보세요!

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아래에서 무료 웨비나에 신청하고 low kV에 대해 자세히 알아보세요

  1. 실제 시료 표면 이미징을 위해 표면 코팅이나 스테이지 바이어스 없이 초저전압에서도 고해상도 이미징 수행
  2. 저전압에서도 컴포지션 컨트라스트 극대화
  3. 유연한 이미징 파라미터로 스윗 스팟 이미징 수행
  4. 왜곡 없는 자성 나노입자 이미징 수행

  • High resolution imaging of Mesoporous silica nanomaterials at 500V without sample coating or stage biasing.

    High resolution imaging of Mesoporous silica nanomaterials at 500V without sample coating or stage biasing.

1. 실제 시료 표면 이미징을 위한 초저전압 고해상도 이미징

Gemini 3 column의 빔 부스터 기술인 Smart Autopikot과 Nano-twin 렌즈가 어떻게 시너지를 발휘하여 1차 빔의 확산을 줄이고 렌즈 수차 영향 최소화 및 뛰어난 신호 검출 효율을 보장하며 초저전압에서 고해상도 이미징을 지원하는지 알아보세요.

고배율 시료에 대한 고해상도 이미지가 사용된 mesoporous silica, SiC 섬유 및 CNT와 같은 비전도성 시료에 대한 초저전압 이미징 효과를 확인하세요. 이 샘플들은 표면 코팅이나 스테이지 바이어스 없이 0.5 ~ 1 kV 사이에서 이미징되었습니다.

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  • Tungsten Nickel Iron Alloy: EsB detector for BSE image with compositional contrast.

  • Tungsten Nickel Iron Alloy: Inlens detector for SE image for surface topography.

    Tungsten Nickel Iron Alloy: Inlens detector for SE image for surface topography.

2. 저전압에서의 컴포지션 컨트라스트 극대화

Gemini 3 column의 정전기 렌즈와 에너지 선택적 후방 산란(EsB) 필터 그리드가 컬럼으로 되돌아오는 전자의 궤적을 촉진하여 컬럼 내 신호 검출을 향상시키는 방법에 대해 알아보세요.

필터 그리드를 사용하면 저전압에서도 후방 산란 전자의 신호를 탁월하게 감지하여 향상된 컴포지션 컨트라스트 이미징을 구현할 수 있습니다.

왼쪽 섹션에 소개된 샘플에는 NiO 도핑 CNT, 텅스텐 합금 및 이산화규소 알루미나 도핑 나노 입자가 포함되어 있습니다.

토포그래피 이미징에 사용되는 Inlens 디텍션와 컴포지션 컨트라스트 이미징을 위한 EsB 디텍션 간의 뚜렷한 컨트라스트를 직접 확인하세요.

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  • Zeolites with 1.0 mm working distance for superior unobstructed surface topography imaging.

    Zeolites with 1.0 mm working distance for superior unobstructed surface topography imaging.

3. 유연한 이미징 파라미터로 "Sweet spot" 이미징 실현

작동 거리와 같은 이미징 파라미터를 자유롭게 제어하여 저전압 이미징에서도 최상의 토포그래피 컨트라스트를 획득하세요.

Gemini 3 column은 저전압에서 스테이지 바이어싱이 필요하지 않아 작동 거리에 제한이 없습니다.

CNT, 이산화규소 미립자 및 탄소질 박막 물질과 같은 시료의 가속 전압과 작동 거리를 줄임으로써 어떻게 포토그래피 컨트라스트를 향상시킬 수 있는지 알아보세요.

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  • Magnetite nanomaterials imaged at 1kV and WD of 0.9mm.
     

    Magnetite nanomaterials imaged at 1kV and WD of 0.9mm.
     

4. 왜곡 없는 자성 나노입자 이미징

Gemini 3 column에 장착된 Nano-twin 렌즈가 어떻게 정전기 및 자기장 분포를 잘 오버랩하여 시료 표면의 잔류 자기장을 현저히 감소시키는지 알아보세요. 이러한 특성은 저전압 이미징에서 이차 전자를 효율적으로 검출하도록 설계된 Inlens 디텍터와 함께 자성 시료에 대한 1 kV 미만의 나노미터 이하 이미징을 지원합니다.

마그네타이트 샘플의 고해상도 이미지는 0.9 mm의 가까운 작동 거리에서 이미징되었으며, 이는 샘플에 매우 낮은 자기장이 발생했음을 나타냅니다.

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Gemini 3 Column을 소개합니다

Gemini 3 광학 시스템은 저전압에서의 해상도와 컨트라스트 향상에 최적화되어 있습니다. 이제 시료에 전자기장을 입히지 않고도 1 kV 미만의 서브 나노미터 이미징이 가능합니다. 1 kV에서 30 kV에 이르기까지 모든 조건에서 최대 해상도가 보장됩니다.

Gemini 3는 시너지 효과를 내는 두 가지 요소, Nano-twin 렌즈와 새로운 전자 광학 엔진 Smart Autopilot으로 구성되어 있습니다.

Nano-twin 렌즈는 뛰어난 신호 감지 효율로 저전압에서 나노미터 이하의 분해능을 제공합니다. 표준 Gemini 대물렌즈에 비해 낮은 kV에서 렌즈 수차가 현저히 감소하고 저전압 이미징 조건에서 Inlens 디텍터 신호가 향상됩니다.

Nano-twin 렌즈와 함께 Smart Autopilot을 사용하면 빔 수렴 각도의 콘덴서 최적화를 통해 각 작업 조건에서 가능한 최상의 해상도를 얻을 수 있습니다.

넓은 시야의 Overview 모드를 통해 샘플 탐색과 고해상도 이미징 간에 원활한 전환도 가능합니다. 새로운 자동 초점 기능을 통해 빠른 속도로 최적의 이미지 품질을 얻으세요.

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