고급 전계 방출 SEM

ZEISS GeminiSEM

샘플 유연성의 동급 최강자

전계 방출 SEM으로 미지의 영역을 발견하고 나노미터 이하 이미징, 분석 및 샘플 유연성에서 가장 까다로운 요구 사항을 충족하세요. 이 시스템은 저전압, 고속, 높은 프로브 전류에서 뛰어난 해상도를 제공하며 이를 이용하면 높은 처리량의 분석이 가능합니다.

최고의 이미지 품질 및 다용도로 사용 가능
고급 이미징 모드
고효율 탐지, 뛰어난 분석 기능
25년 이상의 기간에 걸쳐 완성된 ZEISS Gemini 기술
최상의 커버리지를 위한 다양한 디텍터

산업용 ZEISS GeminiSEM

샘플 검사에서 새로운 품질을 경험해 보세요.

이 시스템은 저전압, 고속, 높은 프로브 전류에서 뛰어난 해상도를 제공하며 이를 이용하면 높은 처리량의 분석이 가능합니다. 시야가 넓고 챔버가 매우 넓어 매우 큰 샘플도 쉽게 검사할 수 있습니다.

ZEISS GeminiSEM은 정반대 방향의 두 개의 EDS 포트와 동일한 면에 위치한 EDS/EBSD 구성으로 효율적인 화학 성분 및 결정 방향 특성 분석을 제공합니다. 그림자 없는 고속 매핑을 활용하세요.

워크 플로우를 맞춤 설정하고 자동화하세요: 소재의 기술적 한계까지 테스트해야 하는 경우, ZEISS는 자동화된 제자리 가열 및 기계적 응력 실험실을 제공합니다.

사용 분야 한눈에 보기

기계, 광학 및 전자 부품에 대한 파괴 분석
파단 분석 및 금상학
표면, 미세 구조 및 장치 특성 분석
구성 분포 및 위상 분포
불순물 및 개재물 확인

GeminiSEM 동영상에서 자세히 알아보기

가열 및 인장 실험 | ZEISS FE-SEM를 이용한 제자리 작업

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새로운 워크 플로우 비디오를 시청하고 In Situ Lab for ZEISS로 자동화된 제자리 가열 및 인장 실험을 수행하는 방법을 알아보세요
ZEISS GeminiSEM 제품군: 최고의 이미징과 손쉬운 분석을 위한 FE-SEM

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재료부터 생명 과학까지 다양한 분야의 연구자를 위한 ZEISS GeminiSEM 제품군은 세 가지 새로운 모델을 제공합니다. Gemini 전자 광학 장치의 세 가지 독특한 디자인과 크고 유연한 새 챔버는 모든 이미징 및 분석 요구 사항을 충족합니다.

리튬 이온 배터리의 이미징 및 재료 분석

자동차 산업의 양극재

기능성 소재와 배터리, 태양 전지, 연료 전지와 같은 첨단 장치의 성능은 사용되는 소재의 미세 구조에 따라 달라집니다. 이러한 복합 재료가 원하는 성능을 발휘하려면 다양한 소재 간의 상호 작용이 이루어져야 합니다.

여기서는 니켈, 망간, 코발트 소재에 초점을 맞추고 있습니다. 이러한 유형의 배터리를 Li-NMC, LNMC, NMC 또는 NCM이라고 합니다. NCM 111, 523 등의 명칭은 니켈, 코발트, 망간의 각 성분 비율을 나타냅니다. 이 예는 NCM 111로 만든 음극이 있는 리튬 이온 배터리의 단면을 보여줍니다. 리튬 이온 배터리의 충전과 방전은 미세 구조의 변화로 이어집니다. 균열이 발생하여 SEI 레이어의 표면적이 증가합니다. 이렇게 하면 배터리 성능이 저하됩니다.
전자 현미경을 사용하면 다른 생산 요소를 근본적으로 고려했을 때 NCM 변형 간에 구조적 차이가 있음을 알 수 있습니다. 단면으로 볼 때 811의 일차 입자는 532나 111의 입자보다 훨씬 작습니다. 이러한 서브 그레인 구조의 탁월한 물질 명암비는 ZEISS 전자 현미경의 고유 기능인 선택적 에너지 후방 산란(EsB) 디텍터를 통해서만 볼 수 있습니다.

전해질의 구성이 좋으면 양극재의 물리적 마모를 줄일 수 있습니다. 화학 공정을 개선을 통해 입자가 더 큰 양극재를 생산할 수 있습니다.
리튬 이온 배터리 셀: EDX 요소 분포 이미지

풀스택 리튬 이온 배터리 셀의 단면: EDS 매핑(O, Al, F, Si 및 C). 에너지 분산 분광법(EDS)을 사용하여 현미경으로 조사 중인 물체의 원소 구성을 확인할 수 있습니다.

이 이미지에서는 노화된 샘플에서 예상되는 바와 같이 음극 쪽에 잔여 불소가 많이 있음을 확인할 수 있습니다. 불소는 전해질에서 발견되며 노화에 따라 증가하는 SEI 층에 더해집니다. 베마이트 분리막은 예상대로 알루미늄과 산소 신호를 표시합니다. 탄소는 결합제의 전도제로 사용됩니다. 분리막의 폴리머는 탄화수소이기 때문에 배터리 전체에서 탄소를 볼 수 있습니다.
재료 분석: AI 분할을 통한 입자 크기 분석

입자 크기와 분포는 재료 특성과 직접적인 관련이 있습니다. 국제 표준에 따라 재료 구조의 결정 구조를 수량으로 나타내세요. 세 가지 평가 방법을 사용하여 샘플의 특성을 나타낼 수 있습니다:

입자 경계의 자동 복원을 위한 구적도법
입자 경계 교차부의 대화식 감지 및 계수를 위한 다양한 측정 그리드를 사용한 절편법
비교 다이어그램을 사용한 수동 이미지 평가를 위한 비교법
ZEISS ZEN Intellesis 소프트웨어는 머신러닝 알고리즘과 사전 학습된 모델을 사용하여 이물질 위상 및 입자 경계를 인식합니다. 클릭 한 번으로 인스턴스 분할 모델과 분할할 클래스를 선택할 수 있습니다.

결과 뷰에는 수행된 모든 분석의 이미지와 결과가 포함되어 있습니다. 원본 이미지도 표시됩니다. 모든 분석 결과를 명확한 표 뷰와 입자 크기 분포에 대한 막대 차트로 볼 수 있습니다.